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【特長】
●流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。

【用途】
●設備や塗装エアの消費流量管理。
●半導体製造装置パージガスの流量管理。
●イオナイザの流量管理。
●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
●ノズルやフィルタの目詰まり検知。

【仕様】
●最大流量(L/min):200
●分解能(L/min):0.10
●接続サイズ:ワンタッチφ8
●質量(g):110
●対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)
●精度:±1%F.S以下
●耐圧保証:1MPa
●耐熱温度:0~50℃(結露なきこと)
●容器保護等級:IP40
●最高使用圧力:0.7MPa
●アナログ出力:電圧1~5V
●SW出力:2点
●耐圧保証:1KPa
●最低使用圧力:-0.09MPa
●使用流体温度:0~50℃
●直線性:±3%F.S.以下
●応答時間:50ms以下
●EMC指令適合品
●流量表示:デジタル
●流量調整:ニードル付

【質量】
110G

【入数】
1個

【JANコード】
4547431018014

【注意】
●計量法に適合していませんので、工業用センサーとして使用してください。
●一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルターを設置してください。
●表示機能分離タイプもございます。

【メーカー名】
CKD(株)

【生産国】
日本

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